Al蒸着膜付きガラス板

説明

短パルス（nsナノ秒）から超短パルス（ps-fsピコ秒 – フェムト秒）レーザー光源を利用する微細レーザー加工の条件出しには、対象材料の適正フルーエンス（J/㎠）を見つけることから始まりますが、その準備として、正しいレーザー光の焦点出しが行われていることが必須条件となります。
本製品を用いる事で、レーザー光の焦点出しを視覚的に確認する事で、加工高さ軸の位置決めと焦点深度探索作業を合理的に実施する事に加え、加工対象材料に対するレーザーバイトサイズの定義も可能になります。

加工用途
・ガラス／セラミックス／SiC、GaN、ダイヤモンド等次世代半導体高硬度脆性材料加工
・医療機器、センサーの加工、電子デバイス加工、電池材料加工、マイクロノズル加工
・各種材料への機能構造付与、摺動機械部品加工、透明体スルーホール加工

加工事例