02_複合ステージ
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ベアリング直線ステージ（25mm XY移動量,13mm Z移動量,精度3um）
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ベアリング直線ステージ（25mm XY移動量,5mm Z移動量,精度3um）
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多軸ステージ（25mm XY移動量, 5mm Z移動量,θz: 360°,θx: ±3°）
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多軸ステージ（25mm XY移動量,5mm Z移動量,θz: 360°）
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多軸ステージ（25mm XY移動量,θx,θy: ±10°）
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多軸ステージ（25mm XY移動量,θx: ±4° ,θz: ±2.5°）
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多軸ステージ（25mm XY移動量,θz: 360° ,θy,θz: ±5°）
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多軸ステージ（75mm XY移動量,60mm Z移動量）
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多軸ステージ（XYZ方向 移動量25mm ,θz: 360° ,θx,θy: ±10°）
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多軸ステージ（θx, θy:±10°,θz:360°）
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