02_複合ステージ
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ベアリング直線ステージ(25mm XY移動量,13mm Z移動量,精度3um)
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ベアリング直線ステージ(25mm XY移動量,5mm Z移動量,精度3um)
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多軸ステージ(25mm XY移動量, 5mm Z移動量,θz: 360°,θx: ±3°)
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多軸ステージ(25mm XY移動量,5mm Z移動量,θz: 360°)
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多軸ステージ(25mm XY移動量,θx,θy: ±10°)
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多軸ステージ(25mm XY移動量,θx: ±4° ,θz: ±2.5°)
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多軸ステージ(25mm XY移動量,θz: 360° ,θy,θz: ±5°)
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多軸ステージ(75mm XY移動量,60mm Z移動量)
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多軸ステージ(XYZ方向 移動量25mm ,θz: 360° ,θx,θy: ±10°)
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多軸ステージ(θx, θy:±10°,θz:360°)
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