03_ボールベアリング式
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ボールベアリングミニバーティカルトランスレーションステージ
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ボールベアリング直線ステージ（13mm XYZ移動量, 精度3um）
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ボールベアリング直線ステージ（13mm XY移動量, 精度3um）
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ボールベアリング直線ステージ（25mm XYZ移動量,精度2um）
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ボールベアリング直線ステージ（25mm XY移動量,精度2um）
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ボールベアリング直線ステージ（移動量13mm, 精度3um）
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ボールベアリング直線ステージ（移動量13mm,精度3um）
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ボールベアリング直線ステージ（移動量25mm, 精度3um）
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ボールベアリング直線ステージ（移動量25mm,精度2um）
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