02_ベアリング式

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  ベアリング直線ステージ（13mm XYZ移動量,θy,θz: ±5°,精度3um）

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  ベアリング直線ステージ（13mm XYZ移動量,精度3um）

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  ベアリング直線ステージ（13mm XY移動量,精度3um）

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  ベアリング直線ステージ（精度3um）

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