物理

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  膜厚測定システム、1nm〜250μm / F20

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  超低温恒温恒湿器 / PSL-2J

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  電波暗箱/シールドボックス Taurusシリーズ / MY1520N

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  高真空排気システム、NW40,33L/s,2×10-5Pa / TPS-flexy-84

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